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溶液成分对草莓视频官网下载APP网址蚀刻机腐蚀速度的影响

1FeCl3浓度对蚀刻速度的影响:FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度的增高,蚀刻速度加快。当所含FeCl3超过某一浓度时,由于蚀刻机溶液黏度增加,腐蚀速度反而有所下降。对于采用抗蚀印料或抗蚀干膜的铜零件,浓度可控制在35°波美度左右;采用液体光致蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)的铜零件。浓度控制在42°波美度左右。通常情况下,蚀刻机药箱内药水浓度在350g/L-600g/L为宜。

2)盐酸的添加量对草莓视频官网下载APP网址蚀刻机的腐蚀速度影响:在腐蚀机中加入盐酸,一则可以抑制FeCl3CuCl2的水解;二则可提高蚀刻速度。特别是当蚀刻液中铜含量大道37.4g/L后,盐酸的作用更加明显。但这应根据不同的抗蚀层材料选择合适的酸度,如果抗蚀层选择骨胶、明胶、聚乙烯醇等光致抗蚀层,则不能用太高的酸度,否则,抗蚀层易于被破坏。对于感光树脂抗蚀剂及丝网印刷抗蚀层,则可以选择较高的酸度。

3)温度对蚀刻速度的影响:在FeCl3蚀刻工艺中,随温度的升高,蚀刻机中工件的腐蚀速度明显加快。比如在50℃时,全新蚀刻液对铜的蚀刻速度可达到10μm/min。但在实际生产中,都是采用常温蚀刻方法。FeCl3对铜的蚀刻是一个放热反应,随着蚀刻的进行,蚀刻机中药水温度会逐渐升高,蚀刻速度加快。随着FeCl3的消耗,蚀刻速度也会下降。同时这一升温过程也比较缓慢,所以在整个蚀刻过程中蚀刻速度变化不大。

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